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Spettrometria di massa in materiali solidi

Lo strumento Compact SIMS della Hiden è stato progettato per la caratterizzazione facile e veloce delle strutture stratificate, delle contaminazioni e delle impurità superficiali. Lo strumento rileva gli ioni positivi, assistito dal fascio primario di ioni di ossigeno, ed è in grado di discriminare isotopi su tutta la tavola periodica degli elementi. La geometria del cannone di ioni è ottimizzata per essere ideale per ottenere una risoluzione nanometrica in profondità vicino alla superficie.

Un portacampioni rotante permette di caricare contemporaneamente fino a 10 campioni nella camera da vuoto. Lo strumento è di piccole dimensioni ed è eccezionalmente facile da usare, utilizzando lo stesso software di controllo e il sistema di cannone di ioni della Workstation SIMS/SNMS, fornendo profili in profondità, immagini in 3D e 2D e dati di spettrometria di massa. Il rilevatore MAXIM-600P è basato sull'affidabile filtro di massa a triplo quadrupolo da 6mm della Hiden, con la capacità di rilevare impulsi di ioni. È disponibile opzionalmente un cannone di elettroni per l'analisi di campioni isolanti.

Oltre al SIMS, lo strumento ha anche una facility SNMS, che è utile per la quantificazione di elementi a grandi concentrazioni, come le leghe.

Applicazioni

Caratteristiche