Per un'analisi dei gas residui di routine con un ampio range dinamico
L'analisi dei gas residui è un termine generale per l'analisi di specie in gas e vapori in camere da vuoto e processi sotto vuoto.
Sommario
Gli spettrometri di massa della serie RGA forniscono un'analisi dei gas residui di routine, veloce e con un ampio range dinamico, misurando le pressioni parziali delle specie che sono critiche per la qualità del vuoto e le necessità dei processi.
Le applicazioni comprendono:
- Individuazione di fughe in camere da vuoto.
- Misura e controllo della qualita del vuoto.
- Individuazione di perdite virtuali.
- Studi di degassamento.
- Monitoraggio del backout e del pompaggio.