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Per un'analisi dei gas residui di routine con un ampio range dinamico

L'analisi dei gas residui è un termine generale per l'analisi di specie in gas e vapori in camere da vuoto e processi sotto vuoto.

Sommario

Gli spettrometri di massa della serie RGA forniscono un'analisi dei gas residui di routine, veloce e con un ampio range dinamico, misurando le pressioni parziali delle specie che sono critiche per la qualità del vuoto e le necessità dei processi.

Le applicazioni comprendono:

Prodotti

RGA Series

HMT

3F Series / 1000 Series RGA

HPR-30