Caratterizzazione dei plasmi, analizzatori di ioni e sonde di Langmuir
Le sonde per plasma della Hiden misurano alcuni dei parametri chiave dei plasmi e forniscono dettagliate informazioni riguardo alla chimica delle reazioni che avvengono in un plasma.
Sommario
Una vasta serie di processi industriali utilizza plasmi e nuove applicazioni vengono sviluppate rapidamente. Nell'industria della microelettronica la richiesta di una sempre maggiore produttività e la riduzione delle geometrie dei dispositivi significa che la comprensione e la riproducibilità dei processi sono elementi vitali.
Una comprensione dettagliata delle cinetiche delle reazioni degli ioni e delle specie neutre gioca un ruolo fondamentale nello sviluppo di processi avanzati di ingegneria delle superfici, come il HIPIMS.