Tecnica di deposizione

L'evaporazione tramite fascio elettronico permette un riscaldamento diretto dei materiali del target ed è quindi utile per l'evaporazione anche dei materiali più difficili, come il tungsteno. Altre tecniche di evaporazione termica utilizzano un riscaldamento radiativo, che limita la temperatura di evaporazione del target a essere ben al di sotto di quella dell'elemento riscaldante. Nell'evaporazione a fascio elettronico, un potente fascio di elettroni viene mandato sul target, permettendo di riscaldarlo fino alla temperatura di evaporazione.

TAU – Sorgente di evaporazione a fascio elettronico

La serie TAU di evaporatori E-beam è costituita da mini-sorgenti, che lavorano con il materiale target ad alta tensione e il filamento di emissione a bassa tensione, eliminando la necessità di utilizzare grandi magneti per deviare il fascio, come nelle sorgenti più grandi.

Ciascun pocket nella sorgente è equipaggiato con una piastra per il controllo del flusso, che cattura una piccola frazione degli ioni nel fascio evaporato e che è quindi proporzionale al tasso di evaporazione totale. Questa misura è estremamente sensibile e permette di far crescere accuratamente film sub-monolayer permettendo comunque elevati tassi di evaporazione. La sorgente TAU-4 utilizza una piastra di controllo per ciascuno dei quattro pocket indipendenti, permettendo di misurare ciascun flusso anche quando vengono fatti evaporare più materiali contemporaneamente.

La sorgente accetta sia barre di materiali target conduttori sia crogioli, che possono contenere materiali sia metallici sia isolanti.

Le sorgenti TAU utilizzano una testa chiusa e raffreddata, che assicura di ridurre al minimo il carico termico sulla camera. Questo rende le sorgenti particolarmente utile per progetti lift-off e per l'evaporazione su substrati sensibili, questo perché la sorgente può essere mantenuta molto più vicino al campione di quanto non permettano altre tecniche. Un beneficio ulteriore è che questo permette un utilizzo efficiente di materiali costosi, come l'oro, in modo particolare quando vengono fatti evaporare da un crogiolo con collimatore.

Specifiche tecniche