Tecnica di deposizione

L'evaporazione di materiali a bassa temperatura (50-600°C) richiede sorgenti speciali che sono progettate specificatamente per lavorare in questo range. Le sorgenti di evaporazione tradizionali sono costruite per operare più efficientemente a temperature maggiori di 1000°C, che richiedono di mantenere al minimo le perdite termiche conduttive. Questo ha la conseguenza che il meccanismo che permette un controllo PID accurato dipende quasi completamente dalle perdite radiative. A bassa temperatura, le perdite radiative vengono ridotte drasticamente e i loop di controllo tradizionali delle celle soffrono di overshooting e di cambiamenti di temperatura lenti.

Orca – Evaporatore organico

La sorgente di evaporazione a bassa temperatura ORCA utilizza un raffreddamento attivo del crogiolo per assicurare che il processo di riscaldamento venga bilanciato da un forte processo di raffreddamento, che permette una stabilità e un controllo eccellenti. 

Il crogiolo è costruito con un materiale a elevata conducibilità termica, assicurando che non ci siano punti caldi che potrebbero distorcere l'evaporazione. Opzionalmente, è possibile avere una copertura di allumina o grafite. Il crogiolo può essere facilmente rimosso e sostituito senza utilizzare alcun utensile, anche se questo e` spesso non necessario, in quanto l'accesso alla sorgente per riempire il crogiolo è rapido e semplice.

Una termocoppia di tipo K inserita nel corpo del crogiolo permette un controllo molto accurato della temperatura. La sorgente viene fornita con un alimentatore con un controller PID regolato per lavorare a basse temperature.

La sorgente può essere usata insieme a sorgenti di altro tipo. Lo scambio termico viene mantenuto minimo usando un tappo di schermo raffreddato. Orca può essere anche accoppiato al nostro porta-campioni con range di temperatura, permettendo un controllo preciso del substrato.

Specifiche tecniche