Porta-campioni

Scegliere il porta campioni corretto per un processo è importante quanto scegliere il corretto metodo di deposizione. Le caratteristiche di un porta-campioni possono influire sull'uniformità, la morfologia e la composizione del film risultante.

Statico

Il sistema HEX base viene fornito con un porta-campioni statico che puo contenere campioni fino a 4" in diametro, con il più grande modello HEX-L si puo lavorare con campioni fino a 6". Inclusi nei porta-campioni ci sono anche degli stage per montare più campioni di dimensioni minori. Tutti gli stage possono essere equipaggiati con uno shutter manuale o automatico e nel sistema ci sono vari punti di installazione che permettono di montare lo stage quando si cambia il campione, senza bisogno di liberare spazio su un tavolo.

Rotante e riscaldato

Lo stage può essere sostituito con uno che permette la rotazione e il riscaldamento del campione. La rotazione (0,  2-20rpm come standard) migliora drasticamente l'uniformità del film e viene raccomandata per campioni di diametro superiore a 15 mm o quando un buon grado di uniformità è importante. Questo stage può essere opzionalmente dotato di un riscaldatore fino a 300°C o 500°C, che permette di ottenere, con alcuni materiali, una migliore morfologia.

Raffreddamento

Il sistema di deposizione HEX puo anche essere equipaggiato con un porta-campioni raffreddato ad acqua, riducendo indesiderabili aumenti di temperatura in campioni sensibili, come durante lo stage di coating in un processo di lift off. Lo stage raffreddato può essere statico oppure rotante, per migliorare l'uniformità della deposizione.

Gradiente di temperatura

Forniamo anche un porta-campioni che permette di avere un gradiente di temperatura nel substrato, permettendo un controllo preciso della temperatura del campione.

Specifiche tecniche