Concetto dei sistemi

HEX è una serie compatta ed estremamente flessibile di sistemi di deposizione, che permettono all'utilizzatore una completa libertà di riconfigurare il sistema per adattarlo alle necessità sperimentali attuali o a futuri cambi di direzione. Il sistema può essere acquistato in una configurazione base e in seguito migliorato con sofisticati sistemi di deposizione e di analisi, man mano che i fondi lo permettono. Tutti gli upgrade sono progettati per essere semplicemente installabili dall'utilizzatore, diminuendo i costi di installazione

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HEX è stato sviluppato tenendo in mente il training degli studenti. La sua costruzione modulare permette di esporre vari elementi chiave, per poterli discutere e studiare, permettendo agli studenti di esplorare pienamente la parte meccanica e gli elementi per la crescita di film sottile e la ricerca nei nanomateriali. 

La possibilità di riconfigurare facilmente HEX a basso costo permette di fare training su una piattaforma riproducibile per varie tecniche di deposizione/coating, dalla semplice preparazione di campioni per analisi superficiali fino all'E-beam, e sputtering termico o di organici (per la ricerca nel campo degli OLED) e una serie di altre tecniche per la deposizione di film sottili.

Alcune delle tipiche applicazioni dei sistemi HEX per la deposizione di film sottili sono: lift off, preparazione di campioni EM, metallizzazione a contatto, ricerca e sviluppo di nuovi coating e deposizione sputtering. Tuttavia, il progetto modulare dei sistemi permette di riconfigurarli in pochi minuti e assicura che possono essere usati per molte altre applicazioni.

Modularità

La camera da vuoto di HEX consiste in un telaio esagonale di alluminio, che rende il sistema leggero e allo stesso tempo fornisce una struttura rigida. Il telaio supporta sei pannelli intercambiabili, che possono essere facilmente scambiati per ottenere la configurazione desiderata del sistema, aggiungendo o muovendo strumenti di deposizione secondo la necessità.

Grazie al particolare progetto delle flange dei pannelli, questi possono servire sia come lati della camera da vuoto (blank) oppure come finestre, sorgenti di deposizione, strumenti PLD o pannelli QCM (e altre opzioni sono disponibili su richiesta).

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La base del modello HEX ha una pompa turbomolecolare da 80 l/s e una pompa a membrana che permettono di raggiungere una pressione di 8x10-7mbar ed è possibile installare una pompa da 300 l/s per raggiungere una pressione di 4x10-7mbar. Il sistema standard permette di lavorare con campioni di diametro fino a 100mm (4"), ma con un portacampioni multiplo è possibile invece montare un numero maggiore di campioni più piccoli. La camera del più grande HEX-L permette di lavorare con campioni fino a 600mm (6") ed è equipaggiata con una pompa turbomolecolare da 300 l/s e con una pompa di tipo scroll.

La serie HEX puo essere posizionato su un normale banco da laboratorio ma anche installato su un apposito telaio, rendendolo ideale per laboratori didattici, laboratori industriali e camere pulite. Possono anche essere integrati in una glovebox per ricerche che richiedano di lavorare in atmosfera inerte e sono disponibili vari sistemi di misura opzionali.