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Il reticolo di calibrazione TGZ serve per la calibrazione dell'asse Z di microscopi a scansione e per la misura delle non-linearità
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Descrizione del reticolo

 
Struttura:
- Wafer di silicio
- il reticolo è formato sullo strato di SiO2
Tipo di pattern:
monodimensionale (nella direzione dell'asse Z)
Altezza dei gradini:
TGZ4 - 1317±10 nm
Periodo:
3±0,05 µm
Dimensioni del chip:
5x5x0,5 mm
Area efficace:
quadrato centrale: 3x3 mm
 

Fig.1 Immagine SEM di un reticolo della serie TGZ