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Il reticolo di calibrazione TGZ3 serve per la calibrazione in Z di microscopi a scansione e per la misura di non-linearità

 

 

Descrizione del reticolo

Struttura:

- Wafer di silicio
- il reticolo è formato sullo strato di SiO2

Tipo di pattern:

Monodimensionale (lungo l'asse Z)

Altezza del gradino:

TGZ3 - 560±4 nm

Periodo:

3±0,05 µm

Dimensioni del chip:

5x5x0,5 mm

Area efficace:

quadrato centrale: 3x3 mm

 


Fig.1 Immagine SEM di un reticolo della serie TGZ