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Il reticolo di calibrazione TGT1 serve per:

 

Descrizione del reticolo

Struttura:

Il reticolo è formato sulla superficie superiore di un wafer di silicio

Tipo di pattern:

matrice di pune acuminate

Angolo della punta:

50±10 gradi (alla fine della punta)

Raggio di curvatura della punta:

≤10nm

Periodo:

3±0,05µm

Periodo diagonale:

2,12µm

Dimensioni del chip:

5x5x0,5mm

Area efficace:

quadrato centrale 2x2mm

Altezza, h:

0,3-0,5µm

 

 

 


Fig.1 Immagini SEM di un reticolo TGT1 
Cortesia di Dr.John Mamin,
IBM Research Division