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Un sistema RGA dual mode per la diagnostica del vuoto e il monitoraggio dei processi senza pompaggio differenziale

Misura i gas residui, i contaminanti dei processi e rileva le perdite

Lo spettrometro di massa a quadrupolo HMT è un sistema RGA dual mode unico, capace di operare a pressioni fino a 4x10-3 senza bisogno di un sistema di pompaggio differenziale. Il funzionamento a queste pressioni viene ottenuto usando una combinazione di sorgente/quadrupolo progettata appositamente e un software che corregge le nonlinearità dell'abbondanza. La pressione di lavoro particolarmente alta rende HMT ideale per il controllo dei processi.

Overview

The HMT can also operate in RGA mode in the same way as a traditional quadrupole RGA. Faraday / electron multiplier detectors provide partial pressure sensitivities in the 10-13 mbar range.

Features

Specifications

Mass range

100 amu

HMT - high pressure RGA mode

Operation to 5 x 10-3 mbar

RGA - mode

Detection to 2 X 10-13 mbar

Leak detection mode

Set to use helium search gas as standard

Mounting flange

DN-35-CF (70mm OD Conflat type)

Detector (Standard)

Faraday cup

Detector (Optional) 

Electron multiplier