Workstation TPD

Un sistema UHV per lo studio di TPD (desorbimento termico diretto)

Misura il desorbimento termico diretto di film sottili solidi

La Workstation TDP ha una camera UHV con ingressi multipli e uno stage di riscaldamento del campione accoppiato a un analizzatore ad alta precisione con triplo filtro e un rilevatore contatore digitale di ioni, per ottenere la migliore sensibilità e risoluzione temporale.

Sommario

La TPD Workstation della Hiden è un sistema sperimentale completo per studi di desorbimento termico programmato. L'analizzatore a triplo filtro di massa è configurato con un rivestimento raffreddato che permette all'analizzatore di avere una sensibilità ottimale con un minimo contributo di fondo ai prodotti di desorbimento del campione. E` compresa nel sistema una camera di inserimento del campione con un meccanismo di trasferimento.

Caratteristiche

  • Spettrometro di massa Hiden 3F PIC per una veloce acquisizione dei dati (>500 punti al secondo).
  • Camera UHV multiporta per l'installazione di strumenti addizionali (per esempio un ellissometro).
  • Meccanismo di trasferimento lineare e fissaggio del campione, completo di valvola e finestra.
  • Stage del campione riscaldato fino a 1000°C.
  • Z-drive per il posizionamento ottimale del campione e del detector.
  • Bakeout Jacket (200 °C max)
  • Controllo software integrato dei protocolli sperimentali.

Hiden’s TPDsoft thermal analysis PC software included with the Workstation provides automatic control of sample temperature integrated with analyser control. TPD analysis routines (e.g. peak integration/deconvolution etc) are also included in this package.

Specifiche

Range di masse

300 o 510, o 1000 amu

Stage del campione riscaldato

Da temperatura ambiente fino a 1000oC

Rampa

20 - 40 oC al minute

Detector

Pulse ion counting 

Display 3D in tempo reale

Si

Vista multipla dei dati

Si

Integrazione e deconvoluzione dei picchi

Si

Sottrazione del fondo

Si

Camera UHV multiporta

Si

Possibilità di installare strumenti aggiuntivi

Si (Es. ellissometro)

Misura veloce

Fino a 500 misure al secondo

Dimensioni del campione

~ 10mm X 10mm