Il reticolo di calibrazione TGX1 serve per:
- calibrazione laterale di scanner spm;
- rilevazione di non linearità laterali, isteresi, creep e effetti di cross-coupling;
- determinazione del aspect ratio della punta.
Descrizione del reticolo
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Struttura |
Il reticolo è forato sulla superficie superiore di un wafer di silicio |
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Tipo di pattern |
a scacchiera con una matrice di colonne quadrate con bordi affilati |
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Periodo |
3±0,05µm |
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Raggio di curvatura dei bordi |
meno di 10nm |
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Dimensioni del chip |
5x5x0,5mm |
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Area efficace |
quadrato centrale: 3x3mm |
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Altezza |
0,6µm* |
Fig.1 Immagine SPM del reticolo TGX1