Il reticolo di calibrazione TGG1 serve per:
- calibrazione di SPM in X e Y;
- rilevazione di non linearità laterali e verticali dello scanner;
- rilevazione di distorsioni angolari;
- caratterizzazione della punta
Descrizione del reticolo
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Struttura: |
il reticolo è formato sulla superficie superiore di un wafer di silicio |
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Tipo di pattern: |
reticolo monodimensionale di gradini triangolari (in direzione X o Y), con dimensioni angolari e lineari precise |
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Angolo dei bordi: |
70 gradi |
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Raggio dei bordi: |
≤10nm |
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Periodo: |
3±0,05µm |
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Dimensioni del chip: |
5x5x0,5mm |
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Area efficace: |
quadrato centrale: 3x3mm |
Fig.1 Immagine SPM del reticolo TGG1