Il reticolo di calibrazione TGZ1 serve per la calibrazione in Z dei microscopi a scansione e per la misura delle non-linearità.
Descrizione del reticolo
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Struttura: |
- Wafer di silicio |
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Tipo di pattern: |
monodimensionale (lungo l'asse Z) |
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Altezza del gradinot: |
TGZ1 - 21,6±1.5 nm |
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Periodo: |
3±0,05 µm |
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dimensioni del chip: |
5x5x0,5 mm |
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Area efficace: |
quadrato centrale: 3x3 mm |
Fig.1 Immagine SEM di un reticolo della serie TGZ