Il reticolo di calibrazione TGT1 serve per:
- visualizzazione 3D della punta di scansione;
- determinazione dei parametri della punta (aspect ratio e raggio di curvatura), degrado della punta e controllo della contaminazione.
Descrizione del reticolo
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Struttura: |
Il reticolo è formato sulla superficie superiore di un wafer di silicio |
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Tipo di pattern: |
matrice di pune acuminate |
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Angolo della punta: |
50±10 gradi (alla fine della punta) |
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Raggio di curvatura della punta: |
≤10nm |
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Periodo: |
3±0,05µm |
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Periodo diagonale: |
2,12µm |
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Dimensioni del chip: |
5x5x0,5mm |
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Area efficace: |
quadrato centrale 2x2mm |
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Altezza, h: |
0,3-0,5µm |
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Fig.1 Immagini SEM di un reticolo TGT1
Cortesia di Dr.John Mamin,
IBM Research Division