Set di standard di calibrazione per SPM con Certificato Internazionale di Calibrazione. Servono per la calibrazione laterale e verticale (compresa la calibrazione submicrometrica e la calibrazione simultanea in X, Y e Z), per la rilevazione di non linearità laterali, isteresi, creep, effetti di cross-coupling, e per la determinazione della forma della punta.
Il set di reticoli di calibrazione TGS_Cert comprende:
1. 7 reticoli di calibrazione - TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGG1, TGT1, TGQ1, TDG01.
2. Certificati di calibrazione internazionali.
Il set di reticoli TGS_Cert può essere usato per:
- calibrazione simultanea di un SPM nelle direzioni X, Y e Z;
- calibrazione submicrometrica di un SPM nelle direzioni X o Y;
- calibrazione laterale o verticale;
- rilevazione di non linearità laterali;
- rilevazione di isteresi, creep, ed effetti dicross-coupling;
- rilevazione di distorsione angolare;
- visualizzazione tridimensionale della punta di scansione;
- determinazione dei parametri della punta (aspect ratio e raggio di curvatura), controllo del degrado e della contaminazione della punta.
I reticoli di calibrazione NT-MDT (TGS1, TGT1, TGG1, TGQ1, TDG01) sono stati aggiunti al registro statale nel novembre del 2009.
I loro numeri sono:
41676-09 TDG01
41677-09 TGG1
41678-09 TGZ1,2,3
41679-09 TGT1
41680-09 TGQ1
La verifica e la calibrazione dei reticoli vengono fatte dal The Russain Research Institute of Metrological Service (VNIIMS). VNIIMS le possibilità di calibrazione del VNIIMS sono confermate da PTB, Coomet (EURO-ASIAN COOPERATION OF NATIONAL METROLOGICAL INSTITUTIONS), BIMP (Bureau International des Poids et Mesures) e altre organizzazioni.