Il reticolo di calibrazione TGG1 serve per:

  • calibrazione di SPM in X e Y;
  • rilevazione di non linearità laterali e verticali dello scanner;
  • rilevazione di distorsioni angolari;
  • caratterizzazione della punta

Descrizione del reticolo

Struttura:

il reticolo è formato sulla superficie superiore di un wafer di silicio

Tipo di pattern:

reticolo monodimensionale di gradini triangolari (in direzione X o Y), con dimensioni angolari e lineari precise

Angolo dei bordi:

70 gradi

Raggio dei bordi:

≤10nm

Periodo:

3±0,05µm

Dimensioni del chip:

5x5x0,5mm

Area efficace:

quadrato centrale: 3x3mm

 


Fig.1 Immagine SPM del reticolo TGG1