Il reticolo di calibrazione TGZ serve per la calibrazione dell'asse Z di microscopi a scansione e per la misura delle non-linearità

Descrizione del reticolo
Struttura:
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- Wafer di silicio
- il reticolo è formato sullo strato di SiO2 |
Tipo di pattern:
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monodimensionale (nella direzione dell'asse Z)
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Altezza dei gradini:
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TGZ4 - 1317±10 nm
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Periodo:
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3±0,05 µm
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Dimensioni del chip:
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5x5x0,5 mm
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Area efficace:
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quadrato centrale: 3x3 mm
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Fig.1 Immagine SEM di un reticolo della serie TGZ