Set di reticoli per la calibrazione in Z di SPM con tre diversi range di altezza: 20nm, 110nm, 520nm. Il Il set di reticoli di calibrazione TGS1 serve per la calibrazione in Z dei microscopi a scansione di sonda e per la misura delle nonlinearità dello scanner.
Descrizione del reticolo
| Struttura: | - wafer di silicio - il reticolo è formato sullo srato di SiO2 |
| Tipo di pattern: | monodimensionale (lungo l'asse Z) |
| Altezza del gradino: | TGZ1 - 21,6±1.5 nm TGZ2 - 107±2 nm TGZ3 - 560±4 nm |
| Periodo: | 3±0,1 µm |
| Dimensioni del chip: | 5x5x0,5 mm |
| Area efficace: | quadrato centrale: 3x3 mm |
