Set di reticoli per la calibrazione laterale e verticale di SPM, per la rilevazione di non linearità laterali, isteresi, creep, effetti di cross-coupling e per la determinazione della forma della punta.
Set di reticoli di calibrazione TGS2 che consiste di sei reticoli - TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGX1, TGG1, TGT1.
Il set TGS2 viene usato per:
- calibrazione laterale e verticale;
- rilevazione di nonlinearità;
- rilevazione di isteresi, creep, ed effetti di cross-coupling;
- rilevazione di distorsioni angolari;
- visualizzazione tridimensionale della punta di scansione
- determinazione dei parametri della punta (aspect ratio e raggio di curvatura), controllo del degrado e della contaminazione della punta..