Caratterizzazione dei plasmi, analizzatori di ioni del plasma e sonde di Langmuir
I film sottili sono molto usati nella funzionalizzazione delle superfici per applicazioni in microelettronica, nanotecnologia, pannelli solari, meccanica, ottica, fotonica, industria tessile, rivestimenti, chimica, biologia e macchinari.
Sommario
I film sottili utilizzano un'ampia serie di tecniche, fra cui:
- Magnetron sputtering
- ALD - deposizione di strati atomici
- CVD - deposizione chimica da vapore
- MOCVD - deposizione da fase vapore mediante metallorganici
- PECVD - deposizione chimica da vapore migliorata con il plasma
- MBE - epitassia da fasci molecolari
- RIE - incisione (etching) con ioni reattivi
- IBE/RIBE - incisione (etching) con fascio di ioni e con fascio di ioni reattivi
Ciascuna tecnica è spesso adattata alla specifica applicazione e richiede parametri di processo speciali per produrre la superficie o il film richiesto. Gli spettrometri di massa della Hiden forniscono indizi critici nel processo e nella caratterizzazione dei film, permettendo di ottimizzare la loro produzione e la qualità della superficie.
Gli spettrometri di massa usati per il controllo di processo comprendono il rilevamento SIMS del End Point per l'etching a fascio ionico di film magnetici, strati III-V che comprendono arseniuro di gallio e film superconduttori compresi YBaCuO, ossido di ittrio bario rame, e controllo del flusso quando è necessario un controllo preciso della crescita del film in MBE.
Analizzatori di gas residui vengono invece utilizzati per il controllo del processo e la ricerca delle perdite, offrendo una finestra di osservazione nell'ambiente di processo in vuoto. L'analisi delle pressioni parziali di gas e vapori residui, fra cui il vapore acqueo, gli idrocarburi, i composti organici volatili e l'ariaè una routine.
La Workstation SIMS viene usata per l'analisi di processo di film sottili e fornisce un depth profiling e immagini della superficie ad alta risoluzione per film sottili cresciuti con MBE, rivestimenti di vetro, film sottili magnetici e ossidi metallici.
I sistemi della Hiden vengono configurati individualmente per garantire la migliore risposta in termini di sensibilità e velocità.