Accessori

La serie HEX è veramente modulare e quindi è possibile integrare una vasta serie di accessori, sia quando viene configurato il sistema iniziale sia in un secondo momento, se e quando cambiano le necessità della ricerca.

Alcune delle opzione sono elencate qui sotto, ma contattateci se avete richieste specifiche.

QCM –  controllo dello spessore e del tasso di deposizione

Il monitoraggio con cristallo di quarzo misura una variazione di massa per unità di area misurando il cambiamento della frequenza di un risonatore al quarzo. La risonanza viene modificata dall'aggiunta o dalla rimozione di una piccola massa dovuta a crescita/decadimento di un ossido o alla deposizione sulla superficie del risonatore.

Il HEX QCM permette il monitoraggio del tasso e dello spessore di deposizione per tutte le sorgenti disponibili ed è disponibile in versione manuale o completamente automatizzata.

Campione, finestre e shutter

Tutti i componenti per deposizione e i porta-campioni per la serie HEX vengono offerti con shutter per controllare la deposizione dei materiali. Possono essere operati manualmente o in modo completamente automatico, permettendo di controllare l'intero sistema da un computer con il nostro software Niobium.

Pannelli laterali del sistema

La serie HEX ha una vasta serie di opzioni per i pannelli laterali, per personalizzare la camera di deposizione:

• Finestre, per assistere nel controllo dei processi di deposizione
• Blank, pareti
• Linee di gas, per introdurre gas nella camera per la deposizione di film reattive o per l'annealing dopo la deposizione
• PLD, finestre per laser con attacchi per ottiche 
• Strumenti, per il collegamento di vari strumenti
• Pannelli superiore e inferiore, per personalizzare il porta-campioni e il sistema di pompaggio

Spettroscopia

La serie HEX può anche essere equipaggiata con uno spettrometro, permettendo di controllare lo spettro di assorbimento dei plasmi o per misure in situ di spettroscopia di assorbimento/foto luminescenza.

Misure in situ

Tutti i sistemi possono essere equipaggiati con vari strumenti per misure in situ come:

• Sistema ottico duale per misure di spessore
• Monitoraggio ottico a larga banda per l'analisi degli spettri di trasmissione e riflessione degli stati depositati.
• Ellissometria spettroscopica per l'analisi dello spessore e della composizione

Load lock in alto vuoto

La serie HEX offre anche la possibilità di installare una camera di load-lock, che puo essere evacuata in 10 minuti e permette di introdurre campioni senza interrompere il vuoto nella camera principale del sistema.

Integrazione in una glovebox

Grazie alla sua natura modulare, il sistema HEX puo essere anche integrato in una glovebox, permettendo di lavorare in ambiente inerte ed eliminando il rischio di ossidare sia il materiale del target sia il campione.